潔凈室(Clean Room)為專業術語，行業通俗稱謂凈化車間或者無塵車間，亦稱為無塵室。是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。在潔凈室的設計中,應根據生產工藝對潔凈度需求,選擇合適的氣流組織方式。

    1.亂流式(Turbulent Flow)：即空氣由空調箱經風管與凈化車間內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室，并由凈化車間兩側回風柱或回風墻回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。 其優點：構造簡單、系統建造成本低，凈化車間之擴充比較容易，室內局部生產區域，可并用無塵工作臺，提高凈化車間等級。 缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。

    2.層流式(Laminar)：層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于潔凈室等級較高的潔凈車間使用，一般其潔凈室等級為Class1-100。其形式可分為二種：

    (1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。 優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩定。 缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。

    (2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^域。 優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。 缺點：建造費用較高。

    潔凈車間在后期使用中，保證潔凈度不衰減，滿足生產工藝的要求，要采取相應的措施：

    保證凈化車間內潔凈度的措施

    要保證凈化車間內要求的潔凈度，對正常運行的凈化空調系統、潔凈室，必須做到進入凈化車間內的空氣是清潔的，進入凈化車間內的人和物品就應該經過必要的凈化處理，盡量減少人和物帶入凈化車間內的灰塵量。要保證凈化車間內的潔凈度應采取以下主要措施：保證人凈的措施；保證進入凈化車間物料的凈化；保證進入凈化車間內的空氣是潔凈的；保證凈化空調系統的送風量；按要求保證凈化車間內的正靜壓值；盡量減少凈化車間的產塵量；保證對凈化車間內的定期清掃。

    1）保證人凈的措施

    人體散發的污染物質主要有自身產生的污染物和攜帶物。人凈措施主要包括水洗、換鞋和衣服及空氣吹淋3個方面：

    （1） 水洗。用水洗去手、臉甚至全身體表皮臨時附著物和積存的體表排出物。

    （2） 換衣、鞋。為了減少從室外帶入凈化車間的污染物，進入凈化車間內的人員一般都在經過換鞋和衣服。至少應將外出鞋、衣服以及多毛的內衣脫掉，對無菌行業還要脫掉全部外出服和內衣、而后換用適合凈化車間或無菌室工作的服裝。外出鞋攜帶污染物最多，須在入口處采取水洗、吸塵和粘著等方式進行處理，以免嚴重污染入口門廳。

    （3） 空氣吹淋?？諝獯盗苁怯酶咚贊崈艨諝獯祾呷矸b及裸體表面的臨時附著物，采用水洗、換衣和空氣吹淋3個方面的措施，可以在一定程度上減少人體服裝攜帶的外界污染物，減少因直接接觸而造成的污染，把身體的大部分及內衣與室內空氣隔離開。使頭發與皮膚的脫落物以及內衣的纖維子不容易播散出來、以減少人體在潔凈室內塵粒的散發量。

    2）保證進入凈化車間物料的凈化

    進入凈化車間內的物料應在運入凈化車間之前進行清洗和必要的凈化處理，以減少物料在凈化車間內的發塵量。進入凈化車間的小件物品一般由凈化車間與外走廊或凈化車間之間（潔凈度級別不同的相鄰房間）通過傳遞窗進入。

    3）保證凈化空調系統的送風量

    保證空調系統的送風量就是保證潔凈室內的換氣次數，以滿足室內氣流組織的需要。凈化空調系統在正常運行時，應定期對系統的送風量進行測定，測點可選在送風機進（出）口處和送風口處。因為系統的送風量在設計時是從能量的消耗量，室內應有的氣流組織等諸方面來綜合考慮的。如果系統送風量過低，則會使潔凈內送風口處的氣流速度降低，從而破壞室內的氣流組織形式，使室內受到污染的空氣無法排出，達不到室內要求的潔凈度等級。

    4）按要求保證潔凈室內的正靜壓值

    凈化車間在運行中一般都要求其與鄰室、走廊（包括外走廊）之間保持一定的正靜壓差，即潔凈室內的靜壓值高于鄰室（不同潔凈級別的房間）、走廊的靜壓，以避免鄰室、走廊等含塵濃度較高的潔凈室外部的空氣對其造成污染。因此凈化車間和凈化空調系統在運行中，應注意經常檢查、保養、調整和修理系統中的余壓閥，以及壓力傳感器、變送器、調節器和執行器，使之處于正常運行狀態，維持室內要求的正靜壓值。

    5）盡量減少凈化車間的產塵量

    僅僅從凈化空調系統的運行和管理方面來考慮，解決影響潔凈室內潔凈室內潔凈度的外部條件是不夠的，還應解決影響潔凈室內潔凈度的內部原因。在凈化車間內，產生塵埃的因素有兩個：一是設備的運轉，二是操作人員的活動。因此，應從此兩方面控制潔凈室的產塵量。

    6）保證對凈化車間內的定期清掃

    凈化車間運行一段時間后，總免不了在一些死角、壁面、臺面上會積存一些塵埃，如果不及時進行清掃，這些塵埃在較大氣流的沖擊或其他某種擾動下，會重新卷入室內空氣中，從而增加了室內空氣塵粒的濃度，使室內空氣的潔凈度等級下降，無法保證工藝的正常進行。因此對凈化車間進行定期的清掃是必不可少的。